特点：高频逆变方式,使用工艺范围宽,能有效改善膜层质量,降低温升,细化颗粒,增加附着力,提高沉积速率改善膜层均匀性 .485通讯 .

电源配置：
1、标准配置：电源1台 3米输入电源线一根
2、选装配置：互锁保护装置一组